HJT电池的工艺流程

HJT电池的工艺环节仅4步，分别为制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、透明导电薄膜沉积、丝网印刷。相比PERC电池通常的9~10步，HJT的生产步骤大大减少，具有量产优势。

从设备的角度看，各环节均处于国产设备逐渐导入的过程中：

►制绒清洗：采用与PERC相似的湿法化学清洗设备，但要求更高的刻蚀损伤层厚度以及在低温环境下处理。制绒清洗工艺包括RCA清洗法和臭氧清洗法，臭氧清洗法在满足工艺需求的同时，化学品耗量和废料处理成本更低，因此应用更广泛。台湾DINO帝隆风囊泵已在HJT工艺中获得良好的客户端反馈！

►非晶硅薄膜沉积：估计该阶段的设备价值量占比达到~50%，是HJT设备中价值量占比好高的设备。非晶硅镀膜工艺对清洁度要求很高，因此实现大规模量产的难度也较大。目前非晶硅沉积的主流工艺方法为PECVD(等离子增强化学气相沉积)。PECVD根据结构设计可分为直列式和团簇式，团簇式PECVD产能较大、交叉污染少，但传输系统自动化难度较高，直列式PECVD可再分为串联式和并联式，

►透明导电膜沉积：估计该阶段的设备价值量占比达到25%。目前沉积TCO存在RPD(反应等离子体沉积)和PVD(物理化学气相沉积)两种路线。RPD与PVD的区别在于：1)RPD工艺采用蒸发镀膜法制备IWO导电薄膜(氧化铟掺钨)，对硅衬底的轰击较小，薄膜导电性好，有望制备更高效率的电池，但缺点在于设备价值量更高，且靶材尚未规模量产。此外，ICO(氧化铟掺镉)等性能更高的新型靶材也有望推出。2)PVD工艺则用直流磁控溅射制备TCO，较为成熟，量产性更好，但受制于材料ITO的性能更差，近年出现了用PVD法制备的新种类SCOT材料，有望拉近与RPD+IWO的差距。

►丝网印刷：用于电池的电极成形，该工艺与传统晶体硅电池片差异较小，主要差异在于，由于HJT电池结构的薄膜被氢化，而氢在高温下会从薄膜中逸出，影响钝化效果，因此需要使用低温下固化的特殊银浆印刷电极。低温银浆丝印工艺的一种可能的替代方法是电镀铜/锡/镍，其材料成本更低、电导率更高，但由于技术不成熟，目前几乎无量产应用。此外，近年也出现了激光转印技术，通过激光无接触地将浆料挤压到电池表面，可降低银浆损耗并印刷更细的栅线，有望替代丝印的部分环节。