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DTE-15
DTE-15系列双气源电控风囊泵
DTE系列泵是专为半导体制造行业设计的高效流体输送设备,特别适用于电子级化学品和各种腐蚀性液体的精确输送。凭借其创新的波纹管技术,DTE系列泵能够确保在高要求的工艺环境中,提供极高的流量控制精度和稳定性。
主要特点:
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无摩擦设计:采用气体压力驱动风囊,避免了传统机械接触,减少了磨损,确保长时间稳定运行。
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高化学兼容性:材料选用耐腐蚀性强的材质,广泛适用于包括酸碱、溶剂等化学液体的输送。
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精确流量控制:能够精确调节流量,满足半导体行业对液体输送的高精度要求。
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耐高压设计:可承受高达5 bar的工作压力,确保在极端工况下仍能稳定工作。
应用领域:
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半导体制程:用于精密输送电子级化学品,保证工艺过程的高纯度和稳定性。
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腐蚀性液体处理:广泛应用于需要高耐腐蚀性的工业领域,如化学品输送、清洗工艺等。
通过DTE系列泵,您可以确保在严苛的环境下,稳定且高效地输送关键液体,提升生产过程的精度和可靠性。
性能曲线图







