型号及材质说明

产品应用

高洁净度结构设计与耐腐蚀性，适用于半导体、太阳能、LED、面板业及光电业等供酸系统与无尘室制程设备的广泛应用。

技术特点：

1、气阀组
高密度PE车制而成，组成无任何金属零件，可分离式气阀设计，可根据空间需求调整。气密佳，耗气量低，低压稳定不卡机

2、陶瓷气阀杆
运用陶瓷的耐磨系数，与无热胀冷缩的额问题，阀杆与轴套紧密贴合，形成较好的气密及精准稳定的运转系统

3、弹簧式逆止阀
采用PTFE高密度材料，弹性佳，且延展性好不易变形；无需水平架设Pump也能输送液体。内凹槽式设计，以“面”做接触，密合度强，自吸能力强。且不会因回压而造成Bellows持压而变形

4、PTFE高密度Bellows
极高纯度，高密度PTFE车制而成，较好的延展性及耐磨系数。8MM厚的前障避能减少尖锐物的磨损，使用寿命可达2亿次

技术参数